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以鈦金屬為靶材、以錦綸織物為基體,通過改變濺射時間,濺射功率和濺射氣壓,制備出鈦金屬鍍膜錦綸織物試樣,然后進行摩擦試驗.采用掃描設備獲得了織物摩擦前后的圖像,利用軟件neoimaging測試織物組織點處的亮度,以相對亮度的變化反映鍍膜的磨損.研究表明:隨著濺射時間和濺射功率的增加,鍍膜的耐磨性提高;較為合適的濺射氣壓是0.5~3 Pa,濺射氣壓過高,耐磨性反而降低.
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工業上用磁控濺射技術為太陽能集熱管制備Al-N/Al選擇性吸收涂層,這種吸收涂層最外層為AlN介質減反層。在開環N2流量控制模式下,存在濺射制備AlN介質減反層沉積速率低的缺點。本文依據氣相化學反應動力學理論,薄膜的沉積率正比于反應氣體的濃度,提出了一種提高制備AlN陶瓷減反層沉積速率的方法。該方法將直流濺射靶電壓反饋至模糊控制器,控制N2流量大小,讓磁控濺射鍍膜機穩定工作在拐點電壓附近,實現反應濺射恒電壓控制。并且采用單片機技術制作了樣機,在SCS-700A型太陽能集熱管鍍膜機中使用,實驗結果表明,鍍膜沉積速率提高了4倍以上,整個系統工作穩定。
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