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精密位移量的激光干涉測量方法及實驗 一、實驗?zāi)康模?1. 了解激光干涉測量的原理 2. 掌握微米及亞微米量級位移量的激光干涉測量方法 3. 了解激光干涉測量方法的優(yōu)點和應(yīng)用場合 二、實驗原理 本實驗采用泰曼-格林( Twyman-Green)干涉系統(tǒng), T-G 干涉系統(tǒng)是著名的邁克爾遜 白光干涉儀的簡化。用激光為光源,可獲得清晰、明亮的干涉條紋,其原理如圖 1 所示。 He-Ne 激光器 擴束準直系統(tǒng) M 1(參考鏡) M2(測量鏡) 干涉條紋 L1 L 2 D BS L /2 圖 1 T-G 干涉系統(tǒng) 激光通過擴束準直系統(tǒng) L1提供入射的平面波 (平行光束)。設(shè)光軸方向為 Z 軸,則此平 面波可用下式表示: ikzAeZU )( (1) 式中 A 平面波的振幅, 2k 為波數(shù), 激光波長 此平面波經(jīng)半反射鏡 BS 分為二束,一束經(jīng)參考鏡 M 1,反射后成為參考光束,其復(fù)振 幅 U