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更新時間:2025.05.17
用于真空壓力測量的電容式薄膜真空計

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本專利所涉及制造的是一種用于真空壓力測量與控制的儀器儀表。它是檢測真空壓力的理想儀表,由于運用了電容量變化的原理,采用了可變電容結(jié)構,成功地制造出了一種結(jié)構簡單、成本較低、工作特性穩(wěn)定、過壓能力強、測量精度和靈敏度高、耐蝕性強和長期穩(wěn)定性好的真空壓力測控儀表——電容式薄膜真空計。它已廣泛地運用于核工業(yè)領域內(nèi)的鈾濃縮、太陽能和電子工業(yè)領域的單晶硅和多晶硅的提煉、航天領域、真空冶煉、電光源制造、生物制藥、石油化工以及實驗室等。

復合真空計機械控制開關轉(zhuǎn)化為電子開關

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為了提高本科生的知識結(jié)構水平與鍛煉他們的動手能力,本文提出了將老式復合真空計高真空機械控制開關轉(zhuǎn)化為電子開關的改裝方案,讓本科生對老式復合真空計的測試原理具有一定的理解后,通過對原理的掌握來設計出對應的電子開關。這樣一方面鍛煉了學生的動手實踐能力,另一方面可以通過電子開關對機械開關的替代使老式復合真空計的使用壽命變長,提高測量數(shù)據(jù)的準確度,節(jié)省了購置新真空計的費用。

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