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電池片生產工序流程 第一道工序是清洗制絨，目的是通過一系列化學處理使硅片表面形成絨面 , 來減少對光的反射 ,吸收更多的光。 目前我們公司使用的是德國產的 RENA 清洗機， 它采用全自動計算機控制添加排放藥液，智能分析控制藥液流量及濃度，以達到高 效率、高產量、高穩定性產品。 第二道工序是磷擴散工序，目的是通過擴散磷雜質，在 P 型襯底硅表面形成 N 型硅，制作 PN 結。 PN 結的制作是生產太陽光伏電池的核心工藝步驟。目前我 們公司主要使用的是中國電子科技集團公司第四十八研究所的擴散爐，它能達到較 好的擴散控制精度。 第三道工序是后清洗工序，通過酸堿腐蝕去除擴散在硅片邊緣的 PN 結，防 止電池正負極短路。 目前我們公司使用的是德國 RENA 機，全自動計算機控制生產 速度快。 第四道工序是 PECVD 工序，目的是通過等離子增強化學氣相沉積在擴散面 上鍍上一層淡藍色 SIN 膜，減
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