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多晶硅行業(yè)設備因其工藝性質(zhì)及操作特殊性,大部分為特種設備,密封要求較高。靜設備采用標準墊片和螺栓壓緊密封。多晶硅生產(chǎn)中還原爐是改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的核心設備,因反應介質(zhì)為三氯氫硅與氫氣,密封性要求較高,通過研究設計還原爐密封卡緊螺栓裝置有效解決生產(chǎn)中螺栓卡死等實際問題,節(jié)約大量勞動力,提高了生產(chǎn)效率,該工作為同行業(yè)首創(chuàng)。
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