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文章編號 ：1005-6122（2011）02-0084-04 五位 RF MEMS 開關延遲線移相器 * 金 鈴 （南京電子技術研究所 ，南京 210013） 摘 要： 設計并研制了一種 6 ～11GHz、超寬帶 5 位 RF MEMS 開關延遲線移相器 ，器件實現了 5 位延遲 ：λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。該器件采用微帶混合介質多層板技術 ，分 4層制作 ，尺寸為 45mm×20 mm。整個器件包括 20個 RF MEMS懸臂梁開關 ，用 60 ～75V 的靜電壓驅動 。6 ～11GHz 頻帶內 ，對 32 個相移態的測試結果表明 ：一般回波損耗 S11 ＜－10dB，各狀態平均插入損耗為 －8 ～－10dB；中心頻率處 ，器件可實現的最大延遲位時延為 1680ps，總時延為 3255ps。 關鍵詞 ： 開關延遲線移相器 ，微機電系統 （MEMS），懸臂梁開關 ，微波混合介質多層
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