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文章編號 ：1005-6122（2011）02-0084-04 五位 RF MEMS 開關延遲線移相器 * 金 鈴 （南京電子技術研究所 ，南京 210013） 摘 要： 設計并研制了一種 6 ～11GHz、超寬帶 5 位 RF MEMS 開關延遲線移相器 ，器件實現了 5 位延遲 ：λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。該器件采用微帶混合介質多層板技術 ，分 4層制作 ，尺寸為 45mm×20 mm。整個器件包括 20個 RF MEMS懸臂梁開關 ，用 60 ～75V 的靜電壓驅動 。6 ～11GHz 頻帶內 ，對 32 個相移態的測試結果表明 ：一般回波損耗 S11 ＜－10dB，各狀態平均插入損耗為 －8 ～－10dB；中心頻率處 ，器件可實現的最大延遲位時延為 1680ps，總時延為 3255ps。 關鍵詞 ： 開關延遲線移相器 ，微機電系統 （MEMS），懸臂梁開關 ，微波混合介質多層
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1． 格羅皮烏斯（ 1887～1969） 現代建筑師和建筑教育家，現代主義建筑學派的倡導人之一，包豪斯的創辦人。 ■主要建筑理論 ①建筑要隨著時代向前發展， “建筑沒有終極，只有不斷的變革” 。 ② 為了創造符合現代社會要求的新建筑，格羅皮烏斯堅決的同建筑界的復古主義思潮進行 論戰。“真正的傳統是不斷前進的產物，它的本質是運動的，不是靜止的，傳統應該推動人 們不斷前進。”，“美的觀念隨著思想和技術的進步而改變。 ” ③ 在建筑設計原則和方法上格羅皮烏斯在 20年代和 30 年代比較明顯地把功能因素和經濟 因素放在最重要的位置上。 （法古斯工廠和科隆展覽會） ；到了美國以后， 隨著時代和環境的 改變，他的思想也發生了變化，認為藝術最重要的是對形式、空間和色彩的感覺和體驗。 一個人的建筑觀點總是反映著時代和環境的烙印。他從沒有輕視建筑的藝術性。之所以 20 年代末前比較強調功能、技術、和經濟，
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