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何謂潔凈室？ 一、潔凈室之定義 潔凈室 (Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。 它是污染控制的基礎。 沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2 里面，潔凈室被定義為具備空 氣過濾、分配、 優化、構造材料和裝置的房間， 其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮 微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。 潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、 有害空氣、 細菌等之污染物排除， 并 將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某 一需求范圍內， 而所給予特別設計之房間。 亦即是不論外在之空氣條件如何變化， 其室內均 能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 潔凈室最主要之作用在于控制產品 (如硅芯片等 )所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度， 使 產品能在一個良好之環境空間中生產、制造， 此空間我們稱之為潔凈室
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