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1 5.1.1技術要求 2．冷卻系統額定冷卻容量： 15kW 3．額定冷卻流量 : 2.2 t/h 4．額定去離子流量 : 無 5．冷卻水電阻率值 : ≤100μs/cm 6．去離子水電阻率： 無 7．進閥水溫度 : ≤40℃ 8．出閥水溫度 : ≤47℃ 9．冷卻水進閥壓力 : ≥4.0bar 10．水冷裝置設計壓力 : 0.6MPa 11．水冷裝置測試壓力 : 0.8MPa 12．主循環過濾精度 : 200 μm 13．去離子回路過濾精度 : 無 14．冷卻介質 : 純水+乙二醇 15．裝機電容量 : 3kW 5.1.2選型說明 主循環水泵 : 一備一用 CHI2-60 二次散熱方式 : 水風換熱器一套 電加熱器：功率見主要設備一覽表 控制器 : PLC S7-200 系列，一套 人機界面 : TD200 ，一臺 報警要求
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