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純相、高致密度、結晶良好的陶瓷靶材是物理氣相沉積薄膜的前提。采用熱壓燒結方法制備鈦酸鉍(Bi4Ti3O12)陶瓷靶材,重點研究了制備工藝對靶材的物相、微觀結構和致密度的影響。以Bi2O3和TiO2微粉為原料,采用固相反應法,在800℃合成出純相的Bi4Ti3O12粉體;加入過量3wt%的Bi2O3,可以有效防止燒結過程中因Bi揮發所產生的雜相,得到純相的Bi4Ti3O12陶瓷;采用熱壓燒結方法,進一步實現了Bi4Ti3O12粉體的致密燒結,確定了適宜的制備條件為850℃,30MPa,2h,在該條件下制備的Bi4Ti3O12陶瓷致密度達到99%,晶粒呈片層狀,大小約2～4μm,可滿足靶材制備薄膜的需求。
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鋅 概況（Survey）： 鋅（ Zinc ）是一種化學元素，它的化學符號是 Zn，它的原子序數是 30。 性狀（Character ）： 鋅是一種淺 灰色的過渡金屬。鋅是一種青白色、光亮、具有反磁性的金屬，雖然一般用作商品 的鋅都經過加工，這些特性已不再鮮明。 物理性質（ Physical property）： 狀態：固態 密度（接近室溫） :7.14 g·cm-3 熔點時液體密度 :6.57 g·cm-3 熔點 :692.68 K，419.53 °C，787.15 °F 沸點 :1180 K，907 °C，1665 °F 熔化熱 :7.32 kJ·mol-1 汽化熱 :123.6 kJ·mol-1 原子性質（ Atomic properties ）： 氧化態 :+2, +1, 0 （兩性氧化物） 電負性 :1.65（鮑林標度） 原子半徑 :134 pm 共價半徑 :12
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