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常用壓力傳感器原理分析 振膜式諧振壓力傳感器 振膜式壓力傳感器結構如圖 (a)所示。振膜為一個平膜片，且與環形殼體做 成整體結構，它和基座構成密封的壓力測量室，被測壓力 p 經過導壓管進入壓 力測量室內。參考壓力室可以通大氣用于測量表壓，也可以抽成真空測量絕壓。 裝于基座頂部的電磁線圈作為激振源給膜片提供激振力，當激振 頻率與膜片固 有頻率一致時，膜片產生諧振。沒有壓力時，膜片是平的，其諧振頻率為 f0 ； 當有壓力作用時，膜片受力變形，其張緊力增加，則相應的諧振頻率也隨之增加， 頻率隨壓力變化且為單值函數關系。 在膜片上粘貼有應變片， 它可以輸出一個與諧振頻率相同的信號。 此信號經 放大器放大后，再反饋給激振線圈以維持膜片的連續振動， 構成一個閉環正反饋 自激振蕩系統。如圖 (b)所示 壓電式壓力傳感器 某些電介質沿著某一個方向受力而發生機械
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