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真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、 化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展 了很多種， 其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、 數(shù)百萬升。 極限壓力 (極限真空 )從粗真空到 10-12 Pa以上的超高 真空范圍。 由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬， 因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作 壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工 藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機(jī)組型式應(yīng)用。 凡是利用機(jī)械運動 (轉(zhuǎn)動或滑動 )以獲得真空的泵，稱為機(jī)械真空泵。機(jī)械真空泵按其工作原理及結(jié)構(gòu)特點分述 如下： 1、變?nèi)菡婵毡?它是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵
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