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研究了雙缸結構的雙級滑閥真空的振動平衡,提出了定量平衡雙級滑閥真空泵振動的方法;運用最小二乘法獲得多級平衡配重的關鍵參數,精確平衡雙級滑閥真空泵的不平衡慣性力。以2H-150滑閥真空泵為例進行振動平衡,平衡后的剩余慣性力減至1500N以內,振動力降幅達到80%左右;應用多級平衡配重方法所設計的真空泵在松地腳螺釘時的最大振幅僅為0.13mm。因此,針對雙級滑閥泵振動的平衡計算方法是行之有效的,可使泵的振動在很小的范圍內。
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