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通過更換尾氣吸收塔，增加塔高，提高循環泵的功率、揚程、流量，增加噴頭的數量，增加中和池等，改善了尾氣吸收塔堵塞的狀況，并解決了由此帶來的安全和環境問題。
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多晶硅生產中廢氣的處理方法主要有水洗法、焚燒法和堿液淋洗法.水洗法是多晶硅廠最傳統的廢氣處理方法,是通過大量的噴淋水吸收廢氣中氯化氫和氯硅烷,該方法資源浪費量巨大,同時存在重大的安全隱患,現在已基本不使用.焚燒法是將廢氣進行高溫燃燒和水解,得到二氧化硅和鹽酸,該方法因前期投資過大、設備要求過高、工藝復雜、運行成本高等原因,其應用受到限制.堿液淋洗法因其工藝簡單、投資和運行成本較低、處理效果好等優點,成為目前多晶硅廠最常用的廢氣處理方法.
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