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個人收集整理 僅供參考學習 MEMS 國內外發展狀況及我國 MEMS 發展戰略的思考 孫立寧 1,周兆英 2,龔振邦 3 (1. 哈爾濱工業大學 機器人研究所,黑龍江 哈爾濱 150001) (2. 清華大學 精密儀器系,北京 100084) (3. 上海大學,上海 200072) 摘要:針對國際 MEMS 發展趨勢和未來的產業化前景,結合我國 社會經濟發展的需要和國家競爭前的核心技術發展戰略,國家科技 部擬將 MEMS 確定為“十五”863計劃重大專項。針對這一形勢, 在前期 MEMS 發展戰略研究的基礎上,介紹了 MEMS 國內外發展 狀況,并對我國 MEMS 發展的總體目標、主要研究內容、預期成 果和運行機制等問題進行了探討,以期為開展 MEMS 的研究與開 發提供參考。 關鍵詞:微機電系統( MEMS);MEMS 器件;微系統 中 圖 分 類 號 : TP242 文 獻 標
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