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單級旋片泵結構與工作原理 時間 :2008-09-07 來源 :真空技術網(wǎng)整理 編輯 :真空技術網(wǎng) 單級旋片泵只有一個工作室。泵主要由定子、旋片、轉子組成。在泵腔內(nèi)偏心地裝 有轉子，轉子槽中裝有兩塊旋片，由于彈簧彈力作用而緊貼于缸壁 (轉動后還有旋片離 心力 )。轉子和旋片將定子腔分成吸氣和排氣兩部分。 圖 5：單級旋片式真空泵工作原理圖 當轉子在定子腔內(nèi)旋轉時周期性地將進氣口方面容積逐漸擴大而吸入氣體， 同時逐漸 縮小排氣口一側的容積將已吸入的氣體壓縮并從排氣閥排出。 排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中。 泵油通過油孔及排氣閥進入泵腔， 使泵腔內(nèi)所 有的運動表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封。 雙級旋片泵的結構與工作原理 時間 :2008-09-07 來源 :真空技術網(wǎng)整理 編輯 :真空技術網(wǎng) 單級旋片泵 一般極限壓力只能達到 1.3Pa( 個別可達 0.1Pa)，為什么極限
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