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通過對幕墻鍍膜生產(chǎn)線的改造，用矩形平面磁控濺射靶大面積生產(chǎn)氧化銦錫（ＩＴＯ）膜，并對其主要工藝參數(shù)介紹了一些淺顯的看法。
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本設(shè)備采用二級計算機全自動控制,本機分為自動上板段清洗段,磁控鍍膜真空室段,自動測量段及自動裝卸段組成。鍍膜段又分成8個真空室,6個磁控靶組成,可以進行三種膜系
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