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國電內蒙古晶陽能源有限公司年產 3000 噸多晶硅項目 監 理
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多晶硅工藝流程簡述 （改良西門子法及氫化） 氫氣制備與凈化工序 在電解槽內經電解脫鹽水制得氫氣。電解制得的氫氣經過冷 卻、分離液體后，進入除氧器，在催化劑的作用下，氫氣中的微量氧 氣與氫氣反應生成水而被除去。 除氧后的氫氣通過一組吸附干燥器而 被干燥。凈化干燥后的氫氣送入氫氣貯罐，然后送往氯化氫合成、三 氯氫硅氫還原、四氯化硅氫化工序。 電解制得的氧氣經冷卻、分離液體后，送入氧氣貯罐。出氧氣 貯罐的氧氣送去裝瓶。 氣液分離器排放廢吸附劑、 氫氣脫氧器有廢脫氧催化劑排放、 干 燥器有廢吸附劑排放，均供貨商回收再利用。 氯化氫合成工序 從氫氣制備與凈化工序來的氫氣和從合成氣干法分離工序返 回的循環氫氣分別進入本工序氫氣緩沖罐并在罐內混合。 出氫氣緩沖 罐的氫氣引入氯化氫合成爐底部的燃燒槍。 從液氯汽化工序來的氯氣 經氯氣緩沖罐， 也引入氯化氫合成爐的底部的燃燒槍。 氫氣與氯氣的 混合氣體在燃燒
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