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PD380B管式 PECVD 1 蝶閥與擋板閥的拆裝 圖一 PE主機臺 1.爐管降溫 在工控機操作界面中，將爐管溫度由原來的 450°設置為 200°。 2.真空泵的吹掃 2.1抽真空；將反應壓力設為 0，關掉 N2輸入，打開預抽，當壓力小 于 500時，關掉預抽，打開主抽，直到管內為真空狀態（壓力小于 40mtorr）； 2.2設置 N2輸入為 8000，反應壓力為 1700mtorr； 2.3將真空泵的 N2稀釋閥調到最大約 84.4pam3/S；吹掃至少進行 20min。 真空泵 真空管路 PD380B管式 PECVD 2 圖二 真空泵 3.關真空泵 3.1點操作面板的 stop，選擇關閉真空泵（并非延時關閉） ； 3.2拉下真空泵的黑色電源開關，并且將真空泵的冷卻水關掉，保持 真空泵的 N2為打開狀態。 4.工具的準備 一套開口扳手（主要使用 7mm、12mm、13mm、1
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