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以鈦金屬為靶材、以錦綸織物為基體,通過改變濺射時間,濺射功率和濺射氣壓,制備出鈦金屬鍍膜錦綸織物試樣,然后進行摩擦試驗.采用掃描設備獲得了織物摩擦前后的圖像,利用軟件neoimaging測試織物組織點處的亮度,以相對亮度的變化反映鍍膜的磨損.研究表明:隨著濺射時間和濺射功率的增加,鍍膜的耐磨性提高;較為合適的濺射氣壓是0.5~3 Pa,濺射氣壓過高,耐磨性反而降低.
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通過對幕墻鍍膜生產線的改造，用矩形平面磁控濺射靶大面積生產氧化銦錫（ＩＴＯ）膜，并對其主要工藝參數介紹了一些淺顯的看法。
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