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爐管工藝 引言 IC 行業所用的爐管目前主要是垂直式的（水平式的已經很少用了） ，按使用 壓力不同分為常壓爐管和低壓爐管。常壓爐管主要用于熱氧化制程，熱退火， BPSG熱回流，熱烘烤，合金等諸方面。 低壓爐管則主要用于 LPCVD 沉積工藝， 包括多晶硅的形成，氮化硅的形成， HTO 和 TEOS等；HTO 和 TEOS都是用來 生成二氧化硅的。本篇主要介紹爐管的基本知識及有關工藝。 §1. 常壓爐管工藝 硅表面上總是覆蓋著一層二氧化硅，即使是剛剛解理的硅，在室溫下，只要 在空氣中一暴露就會在表面上形成幾個原子層的氧化膜。 當我們把硅晶片暴露在 高溫且含氧的環境里一段時間之后， 硅晶片的表面會生長 （grow）一層與硅附著 性良好，且具有高度穩定的化學性和電絕緣性的二氧化硅—— SiO2。正因為二氧 化硅具有這樣好的性質，它在硅半導體元件中的應用非常廣泛。 根據不同的需要， 二氧化硅被用于
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襯塑鋼管與涂塑鋼管的區別 產 品 篇 一、 定義、分類和術語 1、襯塑鋼管 1.1 定義：襯塑鋼管是以鋼管為基管，內外表面經過處理，外鍍鋅加 烤漆或噴漆，內襯聚乙烯塑料或其他內襯防腐層的鋼塑復合產品。 1.2 分類：襯塑鋼管分冷水襯塑鋼管、 熱水襯塑鋼管、 滾塑襯塑鋼管。 1.3 內襯塑料：聚乙烯（ PE）、耐熱聚乙烯（ PE-RT）、交聯聚乙烯 （PE-X）、聚丙烯（ PP-R）硬聚氯乙烯（ PVC-U）、氯化聚氯乙烯 （PVC-C）。 2、涂塑鋼管 2.1 定義：涂塑鋼管是以鋼管為基管，以塑料粉末為涂層材料，在其 內、外表面熔融涂覆上一層塑料層， 或其他材料防腐層的鋼塑復合產 品。 2.2 分類：涂塑鋼管根據涂層材料的不同分為聚乙烯涂層鋼管和環氧 樹脂涂層鋼管。 2.3 涂塑材料：聚乙烯粉末和環氧樹脂粉末。 二、產品標示 1、襯塑鋼管 1.1 冷水用襯塑鋼管代號 SP-C 1.2 熱
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