反干涉齒輪集微機電系統密碼鎖是一種用于要害系統的機電一體化裝置,通過訪問意圖密碼與鎖體內部固化的機械授權密碼比對鑒別實現安全保證.研究了三相四對極軸向磁場微電機的步進控制邏輯,建立了鑒碼系統的動力學模型,分析了系統的模態和不同摩擦參數下的動力學響應.分析表明,密碼鎖實現鑒碼功能不僅要考慮驅動器的電氣控制,還要考慮鑒碼軸系的動態特性.通過控制棘輪棘爪處的摩擦力矩可有效提高微機電系統密碼鎖的鑒碼性能.

微機電系統是源于微電子加工技術，融合了微機械制造、傳感、致動及微控制于一體的系統。微機電系統融合了力、電、流體、光、磁、熱等多個物理域，建模與仿真技術的迅速發展，討論了目前有關微機電系統建模與仿真的基本理論和方法。

根據《微機電系統》課程的特點,對其教學內容、教學方式和實驗教學等方面進行教學探討,以提高課程的教學效果。

精密位移量的激光干涉測量方法及實驗 一、實驗目的： 1．了解激光干涉測量的原理 2．掌握微米及亞微米量級位移量的激光干涉測量方法 3．了解激光干涉測量方法的優點和應用場合 二、實驗原理 本實驗采用泰曼－格林（twyman-green）干涉系統，t－g干涉系統是著名的邁克爾遜 白光干涉儀的簡化。用激光為光源，可獲得清晰、明亮的干涉條紋，其原理如圖1所示。 he-ne激光器 擴束準直系統 m1（參考鏡） m2（測量鏡） 干涉條紋 l1 l2 d bs l /2 圖1t－g干涉系統 激光通過擴束準直系統l1提供入射的平面波（平行光束）。設光軸方向為z軸，則此平 面波可用下式表示： ikzaezu)((1) 式中a平面波的振幅，2k為波數，激光波長 此平面波經半反射鏡bs分為二束，一束經參考鏡m1，反射后成為參考光束，其復振 幅u

物體微小振動光學干涉測量方法的研究 作者：張濤 學位授予單位：北京交通大學 本文讀者也讀過(9條) 1.王小芳四波耦合微振動光學測量的研究[學位論文]2006 2.周曉輝.楊耀權.盧海霞.楊麗一種非接觸振動測量方法的設計與實現[期刊論文]-儀器儀表與分析監測2005(4) 3.蘇鐵基于dsp控制的光子美容機的研制[學位論文]2010 4.雷和平非線性光干涉測量微小振動方法的研究[學位論文]2009 5.郭廣平.計欣華.秦玉文.杜家吉微振動測量的光外差干涉儀[會議論文]-2000 6.王冬云.楊國光鏡像光衍射技術及其在測量中的應用[期刊論文]-光學學報2001,21(9) 7.于浩ccd相機測量對比度的校正方法研究[學位論文]201

正交偏振激光干涉振動測量方法與實驗研究文檔信息

根據劈尖等厚干涉原理，采用讀數顯微鏡作為新的測量手段，研制了磁致伸縮系數測量裝置，精確測量鋱鏑鐵合金和q235碳素結構鋼在弱磁場中的磁致伸縮系數．該裝置具有測量方法簡單、直觀，且精度很高的特點．

根據劈尖等厚干涉原理，采用讀數顯微鏡作為新的測量手段，研制了磁致伸縮系數測量裝置，精確測量鋱鏑鐵合金和q235碳素結構鋼在弱磁場中的磁致伸縮系數．該裝置具有測量方法簡單、直觀，且精度很高的特點．

根據光學中楊氏雙縫干涉實驗原理設計出超聲波雙縫干涉測量聲速的實驗裝置.運用波的干涉原理,將聲波接收器接收到的干涉信號輸入到示波器,通過示波器來顯示干涉極大和干涉極小現象,利用分光計的雙游標讀數原理測量干涉極大和干涉極小對應的θ角.通過實驗數據計算得出干涉極大和極小對應的聲速分別為(336.2±0.3)m/s,(338.8±0.2)m/s.

實驗十一干涉法測量壓電陶瓷特性 一、實驗目的 1.通過實驗掌握激光測長儀的基本工作原理。 2.掌握搭設激光光路基本方法與技巧。 3.學會用干涉方法測量微小位移。 二、實驗原理 測量位移是邁克爾遜干涉儀的典型應用，測量原理如圖11—1所示: 圖11－1 由ne—ne激光器發出的光經分光鏡g后，光束被分成兩路，反射光射向參考鏡m1（固定），透射光射向測 鏡m2 （可移動），兩路光分別經m1、m2反射后，在分光鏡處會合，在接受屏p處產生干涉條紋，通過給壓電陶瓷 電壓使m2 的移動，干涉條紋發生變化，由于干涉條紋明暗變化一次，相當于測量鏡m2移動了入/2，若條紋變化n次， 位移l由下 式確定： l=n?入/2（11 1） 所以通過測出條紋的變化數就可計算出位移量，這就是激光測長儀的基本原理。 三、實驗儀器

設計研制了一種小體積、低成本、可擴展的低電壓非硅基底1×4微機電系統光開關。開關單元由電磁驅動,微反射鏡繞直徑100μm轉軸轉動,驅動電壓為5v,開關時間小于2ms,插入損耗小于0.84db,具有斷電自鎖功能。器件構造工藝采用微細電火花加工技術。用有限元法分析受力和磁場,進行結構優化設計,并著重介紹開關的實現及性能

介紹了微機電系統的基本概念、醫療用微機電系統的研究和幾種典型的應用實例。

用激光干涉儀系統進行精確的線性測量 — 最佳操作及實踐經驗 1簡介 本文描述的最佳操作步驟及實踐經驗主要針對使用激光干涉儀校準機床如車床、銑床以及 坐標測量機的線性精度。但是，文中描述的一般原則適用于所有情況。與激光測量方法相 關的其它項目，如角度、平面度、直線度和平行度測量不包括在內，用于實現0.1微米即 0.1ppm以下的短距離精度測量的特殊方法（如真空操作）也不包括在內。 微米是極小的距離測量單位。（1微米比一根頭發的1/25還細。由于太細，所以肉眼無 法看到，接近于傳統光學顯微鏡的極限值）。可實現微米級及更高分辨率的數顯表的廣泛 使用，為用戶提供了令人滿意的測量精度。盡管測量值在小數點后有很多位數，但并不表 明都很精確。（在許多情況下精度比顯示的分辨率低10-100倍）。實現1微米的測量分 辨率很容易，但要得到1微米的測量精度需要特別注意一些細節。本文

分束干涉光學間隔測量中干涉條紋級次的一種識別方法

實驗室測量金屬的線脹系數普遍采用的是光杠桿法,經實驗證明光杠桿法存在偶然誤差大、測量精度低、占地空間大等問題,通過利用劈尖的等厚干涉法能夠很好地解決光杠桿法存在的問題.新方法具有溫升范圍小、加熱功率低、測量精度高、操作簡單直觀、占地空間小等優點,便于實際教學中教師的講解、示教和演示,有利于學生綜合應用知識,提高綜合設計實驗的能力.

用白光干涉儀自動測量金剛石砂輪表面形貌時,為了獲得更精準的干涉區域,在干涉儀所采集到的一系列圖像中,首先通過計算相鄰的2張圖像各像素灰度值的變化從而得到一系列新的灰度圖像。然后計算每幀新圖像的非零點像素的均值和極值,據此計算得出用于確定干涉區域的閾值以實現自動掃描。實驗表明:此方法運算速度較快,而且對局部區域的干涉更敏感,可以更精確地搜索出干涉區間。采用步進電機和壓電陶瓷二級驅動,可以在100s內實現100μm范圍內掃描區間的自動獲取并實現垂直方向的數據采集。

首先闡述了數字散斑干涉法測量面內及離面變形量的原理和裝置結構,并將其應用于鋁合金材料的熱變形測量中;結合數字圖像處理技術,獲得代表變形量的數字散斑干涉條紋圖。結果表明數字散斑干涉測量法具有實時性強、結構簡單、全場,非接觸測量等優點。

分析了用相干光測量細絲直徑的原理和方法,分別用鈉光和氦氖氣體激光測量并計算出同一金屬細絲的直徑,計算和分析了測量誤差,研究和比較了兩種光源對測量誤差的影響.

近年來,地基合成孔徑雷達干涉技術的應用領域不斷地擴展。本文詳細地介紹了變形監測系統ibis,并對其監測原理進行了簡單概括。不僅對地基insar技術近期的應用及發展進行歸納總結,而且對該技術存在的問題從大氣改正、斷點校正及數據融合等方面進行深入的分析和討論。通過對地基雷達干涉技術的應用研究分析,說明其在變形監測中將具有更為廣泛的應用前景。

研究了氣溶膠粒子的光熱敏效應和熱感應光致折射率變化,提出了通過增加光熱作用區個數來提高探測靈敏度及用低相干干涉法降低成本的方法。建立了光熱低相干干涉法測量大氣氣溶膠吸收系數的數學模型,分析了干涉儀正交狀態測量和干涉條紋細分探測兩種方式下的探測靈敏度,討論了低相干偏振干涉情況下的探測限。結果顯示,在典型條紋細分情況下理論探測靈敏度可達1×10-6m-1;增加光熱作用區m個,探測靈敏度理論值可提高m倍。理論和方法研究證明光熱低相干干涉法具有可直接測量大氣氣溶膠吸收系數、在線原位、低成本,易于進行溫度修正等優點。

基于微機電系統開關的四位移相器設計

介紹了一種基于白光干涉色的色調值計算零級波片延遲量的方法,在白光正交偏振系統中,利用hsv色度系統分析白光干涉色,得到干涉色圖像的色調值,并使用soleil-babinet補償器標定不同延遲量和其對應的白光干涉色的色調值之間的定量關系,從而實現了根據白光干涉色的色調值計算延遲量的目的。在補償器絲桿步進位移0.02mm的情況下,延遲量標定精度為0.95nm。實驗測量了一塊565nm的零級全波片,所得結果與使用分光光度計測量的結果相吻合。結果表明:光源光強不穩定及波片光軸方位角的變化對延遲量測量影響很小。