介紹了伺服系統(tǒng)在砂輪劃片機中的應用情況。根據(jù)zsh5型劃片機的機械結構和工作臺的應用特點,詳細說明了zsh5型劃片機伺服系統(tǒng)選型時的理論計算方法和具體步驟。同時,介紹了伺服系統(tǒng)的一些主要特點,總結了伺服系統(tǒng)中一些重要參數(shù)的設置方法和調(diào)試經(jīng)驗,包括電子齒輪比、速度環(huán)和位置環(huán)參數(shù)等。

對砂輪劃片機θ向機構及齒輪傳動誤差產(chǎn)生原因進行了分析。對消隙齒輪θ向機構中的回程誤差和傳動誤差進行了估算,并對驗證數(shù)據(jù)進行了分析,所述方法及計算實例對解決工程實際問題提供依據(jù)和建議。

介紹了zsh5型自動砂輪劃片機控制系統(tǒng)的設計路線和框架結構,以及一些重要功能模塊的實現(xiàn)方法和特點。總結了一些精密半導體專用設備的開發(fā)經(jīng)驗,為設計和開發(fā)機電設備的控制系統(tǒng)提供一些思路和方法。

闡述了砂輪劃片機顯微鏡自動聚焦系統(tǒng)的硬件構成和軟件設計,在砂輪劃片機上開發(fā)了一套自動對焦搜索算法,控制ccd、鏡頭沿光軸移動以實現(xiàn)焦距的自動調(diào)節(jié)。在軟件設計上采用了圖像處理手段實現(xiàn)鏡頭聚焦位置的自動搜索和評價函數(shù)對圖象清晰度的評價,并在砂輪劃片機的現(xiàn)場測試中證明了此種方法的可行性。

1006a型砂輪劃片機是美國mai公司70年代末、80年代初研制出的大規(guī)模集成電路加工設備。它只所以能在國際上有廣泛的市場,除它的功能強、精度高外,工作可靠性、穩(wěn)定性高也是它的主要特點。從這次我廠引進該機散件并通過組裝和消化其技術資料,我們深有體會。

介紹了砂輪劃片的工藝優(yōu)化過程,同時給出了在一定工作條件下切割硅晶圓、特別是切割陶瓷基片所選用的適用刀片和相應的工藝參數(shù),并對刀片優(yōu)化進行了初步的探討。

分析砂輪劃片機主軸系統(tǒng)的裝配精度,使得主軸刀盤面在工作臺笛卡爾坐標系中的位置精度以及在安裝砂輪刀片后,劃切晶圓對劃切槽質量造成的影響,如何調(diào)整刀盤的精度,降低崩邊和裂角,提高劃切槽的質量。

通過滾動直線導軌應用理論和應用技術的研究及滾珠絲杠副應用技術的分析,針對砂輪劃片機z向工作臺運動特點,設計了z向工作臺機械結構,并分析了系統(tǒng)的剛性誤差,通過檢測和實際使用驗證了設計結果。

以b1a系列砂輪刀片為例,對金剛石砂輪刀片進行力學分析與強度計算,并利用有限元分析軟件ansys建立砂輪刀片回轉模型,得到刀片的應力云圖和變形圖。通過仿真分析,砂輪刀片孔壁處所受切向應力影響遠大于徑向應力,砂輪刀片的最大應力發(fā)生在孔的內(nèi)壁處,而在砂輪外圓處切向應力較小。通過輸入不同轉速對比,外圓切向應力隨轉速提高而增加,破壞趨勢也明顯。

400A型砂輪切割機

楊浦大橋主橋結構形式為雙塔雙索面全漂浮體系迭合梁斜拉橋，主跨６０２ｍ，其鋼梁安裝，斜索張拉和橋面合龍技術是整個工程的關鍵。

在磨床數(shù)控化改造中利用單片機技術控制砂輪磨損的檢測與修整,以提高磨削加工的生產(chǎn)效率和加工質量。

砂輪切割機安全操作規(guī)程 一．用途 砂輪切割機適用于建筑、五金、石油化工、機械冶金及水電安裝等部門。砂 輪切割機可對金屬方扁管、方扁鋼、工字鋼，槽型鋼，碳元鋼、元管等材料進行 切割，嚴禁使用砂輪切割機切割木材。 二．結構說明： 1．主要參數(shù)： 砂輪切割機型號：j3gy-ld-400a 砂輪切割機主要技術參數(shù)： 額定電壓：380v 電機功率：2.2kw 頻率：50hz 主軸轉速：2800r.p.m 割片規(guī)格：400x3.2x32 夾鉗調(diào)整范圍：0o-±45o 最大切割能力： 角鋼：100x100x10 圓鋼：≤ф50 槽鋼：120x53 鋼管：ф135*6 外形尺寸：730(長)x400(寬)x580(高) 三．使用與保養(yǎng)： 1．正確的使用方法： （1）使用前必須認真檢查設備的性能，確保各部件的完好性。對電源開關、 切割片的松緊度、防護罩或安全擋板進行詳細檢

手持式砂輪機

砂輪切割機

鋸鋼軌砂輪片

在直徑300mmsi片制備中,利用雙面磨削技術能為后續(xù)加工提供高精度的表面,但si片損傷層厚度較大。通過掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡對si片表面及截面進行觀察,得到了經(jīng)不同粒徑的砂輪磨削后的si片的表面及截面形貌、si片的表面及亞表面損傷層的厚度并進行了分析比較。結果表明,用粒度更小的3000#砂輪磨削,能夠有效地降低si片表面及亞表面損傷層的厚度,為優(yōu)化300mm單晶si片雙面磨削工藝、提高si片表面磨削質量提供了清晰、量化的實驗理論依據(jù)。

從劃片機的劃切機理出發(fā)建立數(shù)學模型;用數(shù)學的方法定性、定量分析劃切過程中未修整刃具對劃切質量的影響。摸索刃具修整的合理方式,提出刃具內(nèi)孔配合間隙的實用數(shù)據(jù)。

】ｚｓｈ－ⅲ型自動砂輪劃片機是用于半導體生產(chǎn)企業(yè)的精密專用設備。本文介紹了ｚｓｈ－ⅲ型自動砂輪劃片機的設計思想、設計方案、主要技術關鍵、主要技術參數(shù)以及存在的問題。該設備已經(jīng)小批量生產(chǎn)。

J51150?ZF型自動砂輪劃片機的電控系統(tǒng)

本文敘述了zsh—ⅱ型自動砂輪劃片機分離視場顯微鏡——tv監(jiān)視器定位監(jiān)視系統(tǒng)的組成、技術指標、結構特點和參數(shù)選擇等有關問題。

激光修銳超硬磨料砂輪方法具有工效高、無損耗、易實現(xiàn)自動化等優(yōu)點。利用mcs51系列的單片機,研究了激光修銳的在線控制系統(tǒng);該系統(tǒng)具有在線檢測、監(jiān)控、報警、自動修銳等功能