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利用HFSS仿真軟件對一種基于電感耦合的新型磁芯螺線管微電感進行設計,并優化得出其結構參數,該電感尺寸為7 mm×6.6 mm×0.44 mm。利用Agilent E4294A射頻阻抗/材料分析儀對微機電系統(MEMS)工藝實現的該新型螺線管微電感進行了性能測試分析。測試結果表明:該電感在1 MHz~20 MHz頻率范圍內保持較高的電感值和品質因數Q,測試結果與仿真結果較好的吻合,電感值是相同幾何結構參數下空心電感的16倍以上,在10 MHz頻率時,微電感的電感值為1.17μH,Q值達到50。
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目前,電子式電壓互感器大都采用分壓原理,一次側與二次回路之間缺乏有效的電氣隔離,為此提出一種螺線管空心線圈型電子式電壓互感器。螺線管與電容器串聯,通過測量流經電容器的電流來實現對一次側高電壓的測量。螺線管空心線圈作為電流傳感器輸出二次電壓信號給處理電路,它不存在磁飽和問題,具有測量線性度好、測量動態范圍寬等優點。裝置中使用兩套信號處理電路以提供多路測量信號供用戶使用,采用功率放大器以保證電子式電壓互感器有足夠的二次負載能力。實驗表明,該電子式電壓互感器達到了一定的測量精度,具有良好的線性度,且響應速度快。
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