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更新時(shí)間:2025.06.14
非硅基底1×4微機(jī)電系統(tǒng)光開關(guān)

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設(shè)計(jì)研制了一種小體積、低成本、可擴(kuò)展的低電壓非硅基底 1× 4微機(jī)電系統(tǒng)光開關(guān)。開關(guān)單元由電磁驅(qū)動(dòng) ,微反射鏡繞直徑 10 0 μm轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng) ,驅(qū)動(dòng)電壓為 5V ,開關(guān)時(shí)間小于 2ms,插入損耗小于 0 .84dB ,具有斷電自鎖功能。器件構(gòu)造工藝采用微細(xì)電火花加工技術(shù)。用有限元法分析受力和磁場(chǎng) ,進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì) ,并著重介紹開關(guān)的實(shí)現(xiàn)及性能

基于微機(jī)電系統(tǒng)開關(guān)的四位移相器設(shè)計(jì)

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