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針對市場的實際需求,設計研制了一臺流量為200mL/min的單腔式微型隔膜泵,文章介紹了流量設計計算的基本原理和泵的結構組成,利用搭建的微型泵流量測試平臺進行了測試。結果表明不同電壓下隔膜泵的出氣速率隨電壓成線性關系,所設計的微型隔膜泵流量控制穩定,可靠性較高。
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