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更新時間:2025.06.28
CMP阻燃要求電線

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CMP 要求電線 阻燃電纜是指在規定試驗條件下, 樣品被燃燒, 在撤去試驗火源后, 殘焰或殘灼在限定 時間內能自行熄滅的電纜。 阻燃電纜在火災發生的情況下有可能被燒壞而不能運行, 但有時 能夠減緩火災蔓延, 為直接有效地撲滅火災, 減少人員傷亡和財產損失創造有利條件。 阻燃 電纜的基本結構和普通電纜基本相同, 不同的是它的絕緣層、 護套、外護層以及輔助材料 (如 包帶和填充 )可能部分或全部采用阻燃材料。 愛達訊布線工程師認為, 在綜合布線系統中, 雙絞線、 光纜最常見的材料就是聚氯乙烯 (PVC)、聚乙烯(PE)。PVC 和 PE 在火災中分解、 氧化和燃燒時可以產生氯甲烷、 氯化氫、 苯、一氧化碳、 二氧化碳等多種有毒或腐蝕性產物,對人造成傷害。電纜涉及火災安全的主 要技術指針是 電纜的阻燃性、煙霧的密度和氣體的有毒性。 UL 標準組織定義了以下幾個標準: CMP、CMR、CM、CMG

300mm銅膜低壓CMP速率及一致性

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隨著銅互連結構中低k介質的應用,要求CMP拋光過程中必須將壓力減小到6.89kPa以下,傳統的化學機械拋光已不符合當前的工藝要求,如何兼顧超低壓力下拋光速率和速率一致性成為關鍵問題。對300mm Blanket銅膜進行了低壓化學機械拋光實驗,分析研究了堿性拋光液組分及拋光工藝參數對銅膜去除速率及其一致性的影響。通過實驗可得,在低壓力1kPa,流量200mL/min,轉速30r/min,氧化劑體積分數2%,磨料體積分數30%,螯合劑體積分數3%時,拋光速率為330nm/min,表面非均勻性為0.049,拋光后表面粗糙度為0.772nm,得到了較為理想的實驗結果。

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