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用于真空壓力測量的電容式薄膜真空計(jì)

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本專利所涉及制造的是一種用于真空壓力測量與控制的儀器儀表。它是檢測真空壓力的理想儀表，由于運(yùn)用了電容量變化的原理，采用了可變電容結(jié)構(gòu)，成功地制造出了一種結(jié)構(gòu)簡單、成本較低、工作特性穩(wěn)定、過壓能力強(qiáng)、測量精度和靈敏度高、耐蝕性強(qiáng)和長期穩(wěn)定性好的真空壓力測控儀表——電容式薄膜真空計(jì)。它已廣泛地運(yùn)用于核工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的鈾濃縮、太陽能和電子工業(yè)領(lǐng)域的單晶硅和多晶硅的提煉、航天領(lǐng)域、真空冶煉、電光源制造、生物制藥、石油化工以及實(shí)驗(yàn)室等。

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復(fù)合真空計(jì)機(jī)械控制開關(guān)轉(zhuǎn)化為電子開關(guān)

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為了提高本科生的知識結(jié)構(gòu)水平與鍛煉他們的動手能力,本文提出了將老式復(fù)合真空計(jì)高真空機(jī)械控制開關(guān)轉(zhuǎn)化為電子開關(guān)的改裝方案,讓本科生對老式復(fù)合真空計(jì)的測試原理具有一定的理解后,通過對原理的掌握來設(shè)計(jì)出對應(yīng)的電子開關(guān)。這樣一方面鍛煉了學(xué)生的動手實(shí)踐能力,另一方面可以通過電子開關(guān)對機(jī)械開關(guān)的替代使老式復(fù)合真空計(jì)的使用壽命變長,提高測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確度,節(jié)省了購置新真空計(jì)的費(fèi)用。

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