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基于嚴格耦合波理論,分析了金屬介質膜光柵的衍射性能,以-1級衍射效率為評價函數,研究了表面浮雕結構分別為HfO2和Si O2材料的金屬介質膜光柵,獲得衍射效率優于99%的結構參數。數值計算表明,當頂層光柵結構為HfO2和Si O2的槽深分別為80nm和225 nm時,在1 053 nm處獲得接近100%的衍射效率。
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反射式光學相位延遲器件在光學工程中有著廣泛的應用,本文從全反射和單層介質膜理論出發,研究了光學相位延遲隨光線入射角和單層膜厚度的變化,可以看到通過適當的參數組合,幾乎可以設計出各種實際需要的光學相位延遲器件,而且更為重要的是,這種相位延遲器件在實現其相位延遲時沒有光能量損失,這在實際應用中非常有用和重要。
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