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真空角閥 直動式電磁閥： 原理：通電時，電磁線圈產生電磁力把關閉件從閥座上提起，閥門打開；斷電時，電磁 力消失，彈簧把關閉件壓在閥座上，閥門關閉。 特點：在真空、負壓、零壓時能正常工作，但通徑一般不超過 25mm。 分布直動式電磁閥： 原理：它是一種直動和先導式相結合的原理， 當入口與出口沒有壓差時，通電后， 電磁 力直接把先導小閥和主閥關閉件依次向上提起，閥門打開。當入口與出口 達到啟動壓差時，通電后，電磁力先導小閥，主閥下腔壓力上升，上腔壓力下降，從而利用 壓差把主閥向上推開；斷電時，先導閥利用彈簧力或介質壓力推動關閉件 ，向下移動，使閥門關閉。 25mm。 真空閥門 目錄 五、其它真空閥類 1、GW-J-T 型系列高真空微調閥 2、GM 型系列高真空隔膜閥 3、J611F活塞角座閥 4、ZT-B 系列管道閥 5、CC-A 型系列超高真空插板閥 6、CCQ-A 型系列氣動超高真空插板閥
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