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介紹了硅片加工過程中3種劃片方法及劃片機(jī)國內(nèi)外發(fā)展趨勢。對(duì)金剛石砂輪刀片進(jìn)行力學(xué)分析,應(yīng)用有限元分析軟件建立砂輪刀片回轉(zhuǎn)模型,得到刀片的應(yīng)力圖。通過仿真得到:砂輪刀片切向應(yīng)力總是大于徑向應(yīng)力,切向應(yīng)力的最大值發(fā)生在砂輪刀片孔壁處。并且,應(yīng)用基于特征的實(shí)體造型系統(tǒng)Pro/Engineer,建立了劃片機(jī)劃切過程模擬模型。為進(jìn)一步進(jìn)行參數(shù)化設(shè)計(jì)打下基礎(chǔ)。
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