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全球制程控制測量系統設備領導廠商Therma-Wace公司日前宣布，全球性領先的半導體及FPD生產設備制造商東電半導體(ToKyo Electron)再次下單訂購多套Therma-Wave集成化測量工具。Therma-Wave的高級INTEGRA^R CCD-i關鍵尺寸(CD)測量工具將配合TEL CLEAN TRACK ACT^TM與CLEAN TRACK^TMLITHIUS^TM涂裝／顯影機使用，進行90nm與65nm技術的深度開發與生產。
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