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簡要介紹了銦(In)的用途及國內銦產業的現狀,對ITO薄膜的特性、應用領域及高密度ITO靶材濺射鍍膜的優點進行了描述。重點對高密度ITO靶材的燒結工藝和成形方法的優缺點及發展現狀進行了闡述。探討了高密度ITO靶材生產技術的發展趨勢。
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