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針對多晶硅生產中廢氣處理工藝存在的問題其進行改造,改造后廢氣中約有92.1%的氯硅烷被回收利用,堿液的月平均消耗量減少約500 t;放空氣體中有毒有害成分的質量分數由17.6%降至0.08%;著火和爆炸事故等安全問題已徹底消除,生產系統的穩定性得到改善,多晶硅的月均產量和產品合格率分別提高約13.8%和4.7%。
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多晶硅用途廣泛,是現代社會發展建設必不可少的重要原料。在多晶硅的生產過和中,會改產生廢氣,如果不經處理直接排放到空氣中,會對生態環境造成嚴重的破壞,進而影響人們的身體健康?，F如今對多晶硅生產中產生的廢氣的處理工藝還存在許多問題,需要對其進行改造,改進不足,加以完善,從而提高對廢氣的回收利用率,減少有害物質的排放,達到既能夠保護生態環境,又能夠節約資源的目的,為我國建設可持續發展型社會和環境友好型社會做出貢獻。本文對多晶硅生產中廢氣處理工藝改造問題進行深入的分析和研究,并提出可靠的建議,以提高對廢氣的處理水平,加強生態環境建設,真正實現可持續發展。
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