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基于光纖陀螺的小型化和工程化設計要求,提出模塊化設計概念。設計了一種Y型SOI波導耦合器,用于光纖陀螺光收發模塊。此結構具有形式簡單、譜寬、加工工藝成熟和易于實現光電集成等技術優勢。理論上分析了波導結構參數對其特征參數(分光比、損耗)的影響,優化參數設計,通過模場匹配理論減小器件損耗。最后,對波導耦合器加工工藝進行了討論,采用電子束光刻技術加工出波導掩膜版,并對加工工藝參數進行了優化。實驗結果表明:所設計的分光比50%:50%波導耦合器,當波導長為25mm時,輸入輸出波導的間距可以達到300μm,且理論彎曲損耗可忽略不計,可以有效的抑制光源與耦合器的串音干擾。通過優化工藝參數,設計的SOI波導耦合器可以滿足設計要求。
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