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〖 干式泵常識 〗 Q:什么是渦旋干式真空泵? A:不用油類或者液體密封的變容真空泵。 Q:渦旋干式真空泵的特點? A:◇無油、無污染 ◇低噪音、低振動 ◇使用壽命長 ◇空氣冷卻 ◇配氣鎮(zhèn)閥、可抽可凝性氣體 Q:渦旋干式真空泵的主要用途? A:◇半導體制備設備與處理室抽真空泵; ◇用于液晶注入系統; ◇分子泵真空系統的前級泵; ◇真空密封泵; ◇冷泵前級; ◇用于科學和化學分析儀器; ◇真空發(fā)生器; ◇電子顯微鏡前級泵。 Q:渦旋干式真空泵的主要技術指標? A: 項 目 指 標 型號 DVS-631( 雙側渦旋型無油真空泵 ) 抽氣速率 525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz. 極限真空度 ≤1Pa( 氣鎮(zhèn)閥關閉 ),≤2.5Pa( 氣鎮(zhèn)閥開啟 )。 噪音 ≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) ( 氣鎮(zhèn)閥關閉