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文章結合筆者自身工作經驗，針對電子廠房凈化室空調系統(tǒng)的設計和運行進行了探討，介紹了凈化空調系統(tǒng)的主要系統(tǒng)形式與運行能耗方案，對促進凈化空調系統(tǒng)設計有借鑒作用。
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微電子潔凈廠房運行與管理——1.潔凈廠房相關一般概念； 2.潔凈廠房管理及運行； 3.工程建設與高質量的安裝工程。
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