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多晶硅生產中廢氣的處理方法主要有水洗法、焚燒法和堿液淋洗法.水洗法是多晶硅廠最傳統的廢氣處理方法,是通過大量的噴淋水吸收廢氣中氯化氫和氯硅烷,該方法資源浪費量巨大,同時存在重大的安全隱患,現在已基本不使用.焚燒法是將廢氣進行高溫燃燒和水解,得到二氧化硅和鹽酸,該方法因前期投資過大、設備要求過高、工藝復雜、運行成本高等原因,其應用受到限制.堿液淋洗法因其工藝簡單、投資和運行成本較低、處理效果好等優點,成為目前多晶硅廠最常用的廢氣處理方法.
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隨著太陽能發電技術及半導體技術的不斷發展,當前多晶硅的應用范圍愈加廣泛,多晶硅產量也在逐年提升。但是當前多晶硅生產大多采用西門子生產工藝,該工藝伴隨有大量的廢氣排放,而現有的廢氣處理工藝的處理效果并不盡如人意,這也限制了多晶硅行業的發展。近年來技術人員結合多晶硅生產廢氣特性對廢氣處理工藝進行了改造并取得了較好的效果。
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