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為實現(xiàn)直線超聲電動機驅(qū)動的3-PRR并聯(lián)平臺的精確軌跡跟蹤控制,對其進行了運動學和動力學建模,并設(shè)計了基于模型和輪廓誤差的控制器。首先,根據(jù)并聯(lián)平臺的閉鏈約束條件,對并聯(lián)平臺進行了運動學分析。在此基礎(chǔ)上,對并聯(lián)平臺的各部件速度和加速度進行了推導,并獲得了相應(yīng)的雅可比矩陣,隨后基于虛功原理建立了平臺的動力學模型。最后,由切線近似法推導了平面三自由度輪廓誤差的轉(zhuǎn)化方法,并設(shè)計了基于模型和輪廓誤差的控制器。實驗結(jié)果表明,基于動力學模型和輪廓誤差的控制器可將X和Y軸的軌跡跟蹤誤差控制在15μm以內(nèi),提高了動平臺的軌跡跟蹤精度。
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