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更新時間:2025.06.14
大平面玻璃基片磁控濺射真空鍍膜簡介(一)

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近年來,各種工業生產規模的玻璃基片大平面磁控濺射生產線發展迅速,令人關注。本文針對這一領域,就主要膜系開發、設備結構、工藝、存在的問題及最新發展做了簡單的歸納和介紹。

《真空鍍膜技術》和《真空鍍膜設備》出版發行

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由東北大學張以忱主編的真空工程技術叢書:《真空鍍膜技術》和《真空鍍膜設備》兩書由冶金工業出版社出版發行。《真空鍍膜技術》主要內容:薄膜基礎理論、真空蒸發鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、真空卷繞鍍膜技術、真空化學氣相沉積(CVD)、離子注入與離子輔助沉積技術、

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