格式：pdf
大小：225KB
頁數： 4頁
光刻工藝中對熱板表面溫度場均勻性有極高要求,在熱板設計參數選擇問題上,通過使用通用旋轉組合設計的方法,利用ANSYS仿真模擬軟件,得到不同設計參數情況下的熱板表面溫度場均勻性數據。對仿真結果數據進行回歸建模,回歸模型計算結果與仿真結果有較高的一致性。結果表明,熱板設計參數可以根據該回歸模型來選擇。
熱門知識
平縱組合設計-
話題： 地產家居c610ding2009
精華知識
平縱組合設計-
話題： 裝修工程zslong8226
-
話題： 工程造價lo_sunshine
最新知識
平縱組合設計-
話題： 建筑設計lihuanzheng
相關問答
平縱組合設計平縱組合設計相關專題
- 鋼結構2級防火漆多少一平
- 鋼結構水平支撐的布置
- 南平膜結構@me
- 鋼結構18米跨水平梁設計
- 鋼結構廠房平天窗詳圖
- 北歐loft風格50平
- 混凝土水平裂縫
- 水平注漿
- 水平防潮層的構造做法
- loft鋼結構多少錢一平
- 分形DGS單元結構設計及其在微帶電路中的應用
- 逆變TIG焊機接觸引弧電路的設計(引弧電路)
- 以MSP430FW427為核心的遠程數字水表設計
- 引江濟淮工程淠河總干渠以北安徽段截污導流工程設計
- 中華大廈五層宏遠公司辦公室內裝修工程施工組織設計
- 招遠電視臺制作播出系統數字化改造工程的設計與實踐
- 全熱回收地源熱泵空調機組的系統及工程方案設計
- 展覽館裝飾工程消防改造施工組織設計方案(91頁)
- 支持群體設計的工程數據庫管理系統的結構及實現
- 智能建筑工程設計中的機電設備集成配置系統總體設計
- 中國石化北京設計院標準工藝裝置管道墊片選用規定
- 中航格瀾陽光花園一期門禁對講建設項目施工組織設計
- 在書香中沉睡——“川大河畔”高尚住宅小區景觀設計
- 高效率PWM/PFM自動切換升壓轉換器的設計
- 異形人工挖孔樁和預應力土層錨桿組合在基坑中的應用
- 智能小區以太接入交換機SNMP代理設計與實現
- 醫用潔凈空調系統設計調試中易忽視的問題及設計優化